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詳細(xì)介紹
PIShift壓電電機(jī)
緊湊、低成本的慣性驅(qū)動器原理（粘-滑）。靜止?fàn)顟B(tài)下，驅(qū)動器自鎖，無需電流，不產(chǎn)生熱量。其能用的力保持住位置
集成位置傳感器
增量編碼器測量相對于自由定義的參考位置進(jìn)行的運(yùn)動。與E-871運(yùn)動控制器結(jié)合后，編碼器分辨率可達(dá)小于1納米。
機(jī)械和光學(xué)機(jī)械部件的校準(zhǔn)
光程的穩(wěn)定校準(zhǔn)。長期定位穩(wěn)定性：目標(biāo)位置上的高穩(wěn)定性，較長時(shí)間停機(jī)后仍能可靠啟動。通過將壓電陶瓷促動器與機(jī)械螺紋平移結(jié)合后實(shí)現(xiàn)高保持力和高分辨率。真空兼容型可達(dá)10-6百帕
技術(shù)參數(shù)：
| 初步數(shù)據(jù) | | | | | |
|---|---|---|---|---|---|
| 主動軸 | X | X | X | X | |
| 機(jī)械接口 | M10×1安裝螺紋（N-472.110；N-472.110Y） 9.5毫米螺栓（無螺紋部）（N-472.120；N-472.120Y） | M10×1安裝螺紋或9.5毫米螺栓（無螺紋部），真空兼容至10-6百帕 | M10×1安裝螺紋（N-472.210；N-472.210Y） 9.5毫米螺栓（無螺紋部）（N-472.220；N-472.220Y） | M10×1安裝螺紋或9.5毫米螺栓（無螺紋部），真空兼容至10-6 百帕 | |
| | |||||
| 行程 | 7.5 | 7.5 | 13 | 13 | 毫米 |
| 集成傳感器 | 增量，光學(xué) | 增量，光學(xué) | 增量，光學(xué) | 增量，光學(xué) | |
| 傳感器信號 | 模擬量，1 | 模擬量，1 | 模擬量，1 | 模擬量，1 | 伏峰峰 |
| 分辨率* | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 納米 |
| 單向重復(fù)精度** | 200 | 200 | 200 | 200 | 納米 |
| 最小位移** | 50 | 50 | 50 | 50 | 納米 |
| 速度，開環(huán) | 3.6 | 3.6 | 3.6 | 3.6 | 毫米/分 |
| 連續(xù)操作中的推薦速度。 | 2 | 2 | 2 | 2 | 毫米/分. |
| | |||||
| 保持力、斷電 | >100 | >100 | >100 | >100 | 牛 |
| 饋通力（主動） | 22 | 22 | 22 | 22 | 牛 |
| | | ||||
| 驅(qū)動類型 | PIShift壓電陶瓷慣性驅(qū)動器 | PIShift壓電陶瓷慣性驅(qū)動器 | PIShift壓電陶瓷慣性驅(qū)動器 | PIShift壓電陶瓷慣性驅(qū)動器 | |
| 電機(jī)電壓 | 80 | 80 | 80 | 80 | 伏峰峰 |
| | |||||
| 工作溫度范圍 | 10 到 40 | 10 到 40 | 10 到 40 | 10 到 40 | °C |
| 材料 | 螺絲：不銹鋼 外殼：鋁 | 螺絲：不銹鋼 外殼：鋁 | 螺絲：不銹鋼 外殼：鋁 | ||
| 電纜長度 | 2 | 2 | 2 | 2 | 米 |
| 連接器 | 促動器：Sub-D15（公） | 促動器：Sub-D15（公） | 促動器：Sub-D15（公） | 促動器：Sub-D15（公） | |
| 推薦控制器/驅(qū)動器 | E-871 | E-871 | E-871 | E-871 |
*帶E-871運(yùn)動控制器
**相對于運(yùn)動方向施加了20牛預(yù)載
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