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無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司>>元器件高低溫測試裝置>>半導體制冷機/冷水機>>FLTZ-203集成式冷水機 高精度多通道水冷機chiller

集成式冷水機 高精度多通道水冷機chiller

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參考價 127512
訂貨量 1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號 FLTZ-203
  • 品牌 冠亞恒溫
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 無錫市

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更新時間:2025-07-04 10:46:09瀏覽次數(shù):344

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地 國產(chǎn) 產(chǎn)品大小 小型
產(chǎn)品新舊 全新 結(jié)構(gòu)類型 密封式,立式
結(jié)構(gòu)類型 密封式,立式 溫度 低溫冷水機
【無錫冠亞】是一家專注提供高低溫控溫解決方案的設(shè)備廠家,公司主要生產(chǎn)高低溫沖擊氣流儀(熱流儀)、chiller、超低溫制冷機、高低溫測試機機、高低溫沖擊箱等各種為通訊、光模塊、集成電路芯片等領(lǐng)域的可靠性測試提供整套溫度環(huán)境解決方案。集成式冷水機 高精度多通道水冷機chiller

詳細介紹

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單通道直冷機Single Channel Chiller作為半導體行業(yè)溫控的關(guān)鍵設(shè)備之一,其技術(shù)架構(gòu)圍繞高精度溫度控制需求展開。

一、單通道直冷機的技術(shù)架構(gòu)與溫控原理  

單通道直冷機Single Channel Chiller采用直冷式制冷系統(tǒng),將制冷劑直接輸出至目標控制元件蒸發(fā)換熱,較傳統(tǒng)流體輸送換熱方式提升,特別適用于換熱器換熱面積小但換熱量大的場景。全密閉循環(huán)系統(tǒng)是單通道直冷機的核心設(shè)計之一。整個系統(tǒng)在低溫環(huán)境下不吸收空氣中水分,不揮發(fā)導熱介質(zhì),并通過自動補充導熱介質(zhì)維持循環(huán)穩(wěn)定。循環(huán)液回路采用磁驅(qū)泵,避免軸封泄漏風險,搭配不銹鋼、銅、陶瓷等材質(zhì)的管路,確保系統(tǒng)在寬溫范圍內(nèi)長期穩(wěn)定運行。

二、核心優(yōu)勢:從精度控制到系統(tǒng)適配的多角度能力  

1、寬溫域高精度控溫性能  

單通道直冷機Single Channel Chiller具備覆蓋低溫到高溫的溫控能力,滿足不同熱負荷場景需求。  

2、快速溫變與沖擊響應能力  

在半導體器件可靠性測試中,設(shè)備的溫變速度直接影響測試效率??焖夙憫劳杏谧冾l壓縮機與電子膨脹閥的協(xié)同控制,配合射流換熱技術(shù),縮短升/降溫時間的同時,通過閉環(huán)反饋實時監(jiān)控被測元件溫度,確保測試數(shù)據(jù)準確。  

3、模塊化設(shè)計與系統(tǒng)兼容性  

單通道直冷機采用模塊化設(shè)計,只需一臺備用機組即可實現(xiàn)系統(tǒng)快速切換。在介質(zhì)兼容性方面,設(shè)備支持硅油、乙二醇水溶液等多種載冷劑,滿足不同工藝對導熱介質(zhì)的需求。管路內(nèi)部材質(zhì)與密封設(shè)計進一步保障了與各類介質(zhì)的長期兼容。  

三、典型應用場景:半導體制造全流程溫控支撐  

1、半導體薄膜沉積與工藝控溫  

CVD/PVD等薄膜沉積工藝中,單通道直冷機為反應腔提供穩(wěn)定溫控環(huán)境。通過控制反應腔壁溫度,避免反應物異常沉積,保障晶圓表面薄膜均勻性。而在半導體專用溫控設(shè)備中,設(shè)備通過單一介質(zhì)實現(xiàn)連續(xù)控溫,無需更換導熱介質(zhì),簡化工藝操作流程。  

2、芯片測試與失效分析  

射流式高低溫沖擊測試機可模擬溫度循環(huán),通過PLC程序控制溫度沖擊參數(shù),用于芯片電性能測試、失效分析及可靠性評估。

3、電子元器件與材料測試  

具備單獨制冷循環(huán)風機組,可連續(xù)長時間工作且自動除霜,除霜過程不影響庫溫,滿足元器件在苛刻溫度下的性能測試需求。

單通道直冷機Single Channel Chiller的溫控精度與穩(wěn)定性成為工藝優(yōu)化的關(guān)鍵因素之一。從單機復疊制冷技術(shù)實現(xiàn)低溫控制,到高低溫快速升降溫技術(shù),這類設(shè)備通過硬件設(shè)計與算法優(yōu)化的結(jié)合,在半導體產(chǎn)業(yè)鏈中,推動制造流程的可靠性與一致性提升。


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