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薄膜沉積直冷機(PVD Chiller)技術(shù)解析:真空環(huán)境下的熱管理

來源:無錫冠亞智能裝備有限公司   2025年06月17日 16:31  

在物理氣相沉積(PVD)工藝中,傳統(tǒng)水冷方案因熱傳導(dǎo)路徑冗長,難以應(yīng)對真空腔體內(nèi)的瞬態(tài)熱沖擊,而直冷技術(shù)通過革命性的集成設(shè)計,將制冷源直接嵌入工藝核心,開創(chuàng)了薄膜制造的溫度控制新范式。

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  一、真空熱管理的本質(zhì)挑戰(zhàn)

  PVD工藝的熱控制難題根植于其特殊工作環(huán)境:

  熱流密度鴻溝:靶材等離子體轟擊基板時,局部熱流在微秒級時間內(nèi)驟增,形成劇烈溫度梯度。

傳熱路徑阻斷:真空環(huán)境剝奪了對流傳熱路徑,僅依賴輻射和有限接觸傳導(dǎo),散熱效率斷崖式下跌。

  邊緣效應(yīng)困局:基板邊緣區(qū)域因熱流失路徑復(fù)雜,溫度常顯著高于中間區(qū)域。這種非均勻熱場使薄膜內(nèi)應(yīng)力分布失衡,輕則導(dǎo)致膜層翹曲,重則引發(fā)整片剝離。

  二、直冷系統(tǒng)的集成化突破

  直冷機的技術(shù)革命體現(xiàn)在三重架構(gòu)重構(gòu):

  1. 真空冷板一體化

  摒棄傳統(tǒng)外置冷卻模式,將微通道冷卻板直接集成于真空腔室內(nèi)部。冷板與基板背面通過金屬化界面材料緊密貼合,傳熱路徑縮短。

  2. 深度制冷雙循環(huán)

  采用復(fù)疊式制冷架構(gòu),首級制冷單元將冷媒預(yù)冷至-40℃量級,二級在此基礎(chǔ)上實現(xiàn)-80℃深冷環(huán)境。雙級協(xié)同既滿足超低溫需求,又避免單級壓縮比過大導(dǎo)致的效率塌陷。

  3. 智能界面材料層

  開發(fā)具有自適應(yīng)性形變能力的導(dǎo)熱界面材料,填充冷板與基板間的微觀不平整區(qū)域。該材料在真空高溫環(huán)境下保持柔性,消除傳統(tǒng)剛性接觸的熱阻盲區(qū),將有效導(dǎo)熱面積提升。

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  三、溫度均質(zhì)化的核心技術(shù)

  動態(tài)熱場平衡系統(tǒng)

  依據(jù)基板熱流分布特征,在冷卻板內(nèi)部構(gòu)建非對稱流道網(wǎng)絡(luò)。中間區(qū)采用低流阻蛇形路徑延長滯留時間,邊緣區(qū)設(shè)計加速螺旋通道增強換熱。通過計算流體動力學(xué)仿真,使冷卻液流速分布與熱負(fù)荷分布準(zhǔn)確匹配。

  實時熱補償機制:

  監(jiān)控濺射電源功率波動信號,預(yù)判未來內(nèi)的熱負(fù)荷變化趨勢。制冷系統(tǒng)據(jù)此提前調(diào)整冷媒流量與溫度,在熱沖擊發(fā)生前建立防御性溫控屏障。同步監(jiān)測基板熱膨脹位移,動態(tài)補償冷板間距變化,維持恒定接觸壓力。

薄膜沉積直冷機(PVD Chiller)在在半導(dǎo)體各種應(yīng)用場景中穩(wěn)定運行,用戶還想了解更多設(shè)備信息,可以聯(lián)系冠亞恒溫。


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