技術(shù)參數(shù):
1.顯微鏡部分1.1可搭配使用的光學(xué)顯微鏡主機(jī):Axio Imager Z2m、M2m、Axio Scope mot、Axio Observer
1.2 Z方向聚焦精度10nm或25nm,最小可達(dá)1nm
2.激光掃描部分
2.1掃描器:使用兩個(gè)獨(dú)立振鏡掃描,可實(shí)現(xiàn)超快速往復(fù)掃描
2.2掃描分辨率:4x1到2048x2048pixels,連續(xù)可調(diào)
2.3掃描速度:13x2種掃描速度可調(diào),5幅/秒(521x512pixels),154幅/秒(521x16)
2.4掃描放大:0.5x到40x,連續(xù)可調(diào),調(diào)節(jié)步長0.1
2.5掃描旋轉(zhuǎn):任意360.旋轉(zhuǎn),連續(xù)可調(diào),調(diào)節(jié)步長0.1.
2.6針孔:電動(dòng)精確控制,直徑以及XY位置均自動(dòng)或手動(dòng)調(diào)節(jié)
2.7探測部分:可選兩個(gè)探測通道,并可選透射laser DIC通道;每個(gè)通道均配備高靈敏度PMT探測器;
光譜探測精度1nm
2.8數(shù)據(jù)位數(shù);可選8bit,12bit或者16bit
3.激光器部分
PTC設(shè)計(jì)半導(dǎo)體激光,可選波長405nm 5mW,445nm 5mW,488nm 10mW,555nm 10mW,639nm 5mW;激光強(qiáng)度可調(diào)(0-99%);激光自動(dòng)關(guān)閉功能(延長激光器壽命)
4.軟件部分
3Dtopo分析,3D高度精確測量,粗糙度(據(jù)標(biāo)準(zhǔn)DIC EN ISO 4287),表面輪廓,表面積,體積,顆粒分析;長度,面積,面積比,直徑,周長,形貌,角度,圖像校正;圖像拼接、報(bào)告輸出。