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STPA1303C 真空渦輪分子泵

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海赫哲真空設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號STPA1303C
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 更新時間2025/3/21 7:13:25
  • 訪問次數(shù)60
產(chǎn)品標簽:

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上海赫哲真空設備有限公司是一家依靠德國*技術、*海歸工程師團隊組成,以真空設備銷售和維修為主,集科研開發(fā)、工程項目、技術服務于一體的*。

 

  赫哲真空(Hertzian)擁有強大的售后團隊,在上海設有專業(yè)維修工廠,為客戶24小時提供所有銷售產(chǎn)品的技術支持及售后服務,公司擁有各種油泵、旋片式真空泵、干泵、機械泵等真空泵的維修保養(yǎng)技術、各類工具和必要的部品,能應客戶要求,對客戶工廠設置的真空機器、設備提供定期維護、保養(yǎng)服務。

 

  赫哲真空(Hertzian)代理銷售世界-意大利DVP,旗下產(chǎn)品有真空泵、真空油品、真空泵配件維修包等相關設備配件材料。

 

  赫哲真空(Hertzian)銷售的產(chǎn)品廣泛應用于車輛、土木建筑工程、機械、包裝、環(huán)境保護、醫(yī)藥及醫(yī)療器械、石油、化工、食品、光學、電氣、電子、原子能、半導體、航空航天、低溫、*機械、紡織、造紙、農(nóng)業(yè)以及民用工業(yè)等工業(yè)部門和科學研究工作中。依托*的質(zhì)量、*的技術、人性化的管理、多元化的解決方案和服務,以上海為中心輻射到全國各地,深受海內(nèi)外客戶的認可。                          

除提供優(yōu)質(zhì)的服務及咨詢,并且堅實的后勤工作團隊,為客戶提供質(zhì)量及技術的Z佳保證,讓客戶使用上無后顧之憂,并且為客戶解決使用上或應用上問題

  赫哲真空(Hertzian)秉承誠信合作、與時俱進,為新老客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務,歡迎各界朋友前來洽談合作,共創(chuàng)未來。

真空泵、真空油品、真空泵維修包等相關設備配件
Edwards STPA1303C 是為半導體應用而設計的渦輪分子泵。Edwards 的轉子可實現(xiàn)的性能和大的制程靈活性。STPA1303C 已經(jīng)由半導體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設備制造商投入使用,并得到了。
STPA1303C 真空渦輪分子泵 產(chǎn)品信息

概述

Edwards STPA1303C 是為半導體應用而設計的渦輪分子泵。Edwards 的轉子可實現(xiàn)的性能和大的制程靈活性。STPA1303C 已經(jīng)由半導體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設備制造商投入使用,并得到了。

應用

  • 金屬(鋁)、鎢和電介質(zhì)(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
  • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
  • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 濺射
  • 離子注入源,射束線泵送端點站
  • MBE
  • 擴散
  • 光致抗蝕劑脫模
  • 晶體/晶膜生長
  • 晶片檢查
  • 負載鎖真空腔
  • 科學儀器:表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
  • 高能物理:射束線、加速器
  • 放射線應用:融合系統(tǒng)、回旋

功能和優(yōu)勢

的轉子  
  • 更高的氣體吞吐量
  • 大的制程靈活性
  • 無油
  • 低振動
  • 高度
  • 免維護
  • 可用于嚴苛制程
  • 使用壽命延長
的控制器設計  
  • 自動調(diào)整
  • 自行診斷功能
  • 直流電機驅(qū)動
  • 無電池運行
緊湊型設計  
  • 占地面積小
  • 半機架控制器

數(shù)據(jù)

入口法蘭 ISO200F
KF40
吹掃口 KF10
水冷卻接頭 PT1/4
抽速
  N2 1300 ls-1
  H2 800 ls-1
壓縮比
  N2 >108
  H2 103
加熱時的極限壓力 10-7 Pa

(10-9 Torr)
大連續(xù)壓力 270 Pa

(2 Torr)
大氮氣吞吐量 1500 sccm
額定速度 32500 rpm
啟動時間 7 分鐘
高入口法蘭溫度 120 °C
輸入電壓 200 至 240 (± 10) V 交流
功耗 0.85 kVA
泵重量 39 kg
控制器重量 9 kg

水冷卻

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