薄膜沉積直冷機PVD chiller 的系統(tǒng)集成與運維要點
在物理氣相沉積(PVD)工藝中,薄膜的均勻性、致密度及附著力等關(guān)鍵性能指標(biāo),與設(shè)備核心部件的溫度穩(wěn)定性密切相關(guān)。薄膜沉積直冷機(PVDchiller)作為專為PVD設(shè)備設(shè)計的高精度溫控設(shè)備,為工藝穩(wěn)定性提供核心保障。其系統(tǒng)集成的科學(xué)性與運維的規(guī)范性,直接影響PVD設(shè)備的運行效率與薄膜產(chǎn)品的良率。系統(tǒng)集成的核心在于實現(xiàn)“工藝需求-設(shè)備性能-環(huán)境適配”的三維匹配。直冷機需根據(jù)靶材尺寸與功率計算制冷量。此外,靶材冷卻水路的接口設(shè)計需采用防泄漏結(jié)構(gòu),并選用316L不銹鋼材質(zhì),避免靶材濺射顆粒污染水路導(dǎo)致